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石英深加工中石英坩埚的大小确定取决于晶体生长的直径和长度

发布日期：[2015-8-21] 共阅[989]次

石英坩埚尺寸大小（或容积大小）的确定取决于晶体生长的直径和长度，同时还要考虑拉晶工艺中对埚、晶直径比的要求。一般竭、晶直径比以3:1为佳。石英深加工
1.其理由是它与熔液直接接触，熔硅与石英坩埚的sio:反应生成sio后，它同时向熔体内部扩散和向熔体表面挥发。
　　****有一部分到达固一液界面附近，混入到正在生长的晶体中去，从而使单晶体中的氧含量增高。低温水槽采取较大的涡、晶直径比，将有利于氧的大量挥发。
2.因此当拉制直径为8 0mrn、长度为7. 000mm硅单晶时，我们确定增涡的直径为中224mm,高度为190mm.根据石英的机械性质川：抗压强度为8004一8500 （WC kg/cm2），抗拆强度为710一1040（200C kg/cm‘），石英坩埚抗弯强度为700一1100 （200C kg/cml），抗扭强度为304一600 （20cc kg/cml），为此，我们选择柑im的厚度为4mm,这样就能承受住12Kg以上的Si料。
3.同时为了使单晶生长到达底部时，仍能保持其原有的竭、晶直径比（3:I）和尽量减少坩埚中剩料，以提高单晶的成品率和回收率，为此确定使用平底柑塌。石英坩埚外形尺寸和形状如图I所示。若采用球底琳A,则在保证竭、晶直径比（3:1）的情况下，其竭内剩料将超过平底琳祸的剩料，显然，不利于提高单晶的成品率和回收率。
文章出处：

http://www.ycquartz.com


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