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关于半导体用透明石英玻璃管的相关标准说明

发布日期：[2014-8-22] 共阅[1466]次

1主题内容与适用范围本规范规矩了半导体用通明石英玻璃管的分类、规格尺度、技能需求、实验办法，查验规矩及标志、包装、运送和储存等。本规范适用于天然水晶或天然高纯二氧化硅、硅卤化物作质料，应用于半导体工业的通明石英玻璃管（以下简称石英玻璃管）。冶金、化学工业用通明石英玻璃管也可参照本规范。
2引证规范 GB／T3284石英玻璃化学成分剖析办法 GB59a9通明石英玻璃气泡、气线查验办法 GB10701石英玻璃热稳定性查验办法 GB／T l2442石英玻璃中羟基含量实验办法
3术语 3．1气线：石英玻璃管壁内或表面的线状棱形空穴。 3．2气线密度：每平方公分中气线条数。3．3破皮气线：暴露在石英玻璃管内外表面的开口气线，其边际尖利。 3．4色线：石英玻璃管上带有色彩的线条。 3．5沟棱：石英玻璃管表面在长度方向构成的高低不平的沟槽和凸棱。 3．6晶纹：石英玻璃管上有显着可见的各种细小的迸裂纹。 3．7麻点：石英玻璃管壁上的小斑驳。它是粘附在管壁上的粒状杂质经铲除后残留的痕迹。 3．8杂质：石英玻璃构成中二氧化硅（Si02）以外的组分。 3．9生料颗粒：通明石英玻璃管的内、外壁上在熔制进程中所粘附的未熔化的石英质颗粒。 3．10通明颗粒：石英玻璃管中彻底熔化的通明石英质颗粒。 3．11波纹：石英玻璃管的内、外壁圆周出现轴向的波浪形高低不平。 3．12色斑：在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等恣意形状的色点。 3．13气泡群：通明石英玻璃管壁中，由细小气泡（小于规范中气泡的下限尺度）密布而成的群集气泡。 3．14揪痕：排除石英玻璃管壁上较大杂质点、气泡等弊病后留下的痕迹。 3．15暗疤：通明石英玻璃管壁内出现的一种斜状、通明、有显着界面的玻璃态（俗称雪花，破皮或梅花）。在高温熔烧中发橙色亮光。 3．16迸裂：石英玻璃管经急冷急热而发生的裂纹或碎裂。 3．17析晶：通明石英玻璃在特定温度下分出晶体，形成失透。 3．18桔皮：通明石英玻璃管外观出现的象桔子皮似的印象。 3．19云雾：石英玻璃管烧制加工中，所发生的二氧化硅（SiO2）挥发物，冷凝后附着在表壁上的白色不通明物。 3．20偏壁度：石英玻璃管同一横截面上****、最小壁厚之差。 3．21椭圆度：石英玻璃管同一横截面上****、最小直径之差。 3．22弯曲度：石英玻璃管在长度方向的平直程度。 4商品分类
4．1分类投生产工艺分以下5类： a．真空常压法管（常压管）； b．真空加压法管（加压管）； c．电熔二步法管； d．气炼、电熔二步法管（气炼二步法管）； e．气炼一步法管（气炼管）。
文章出处：

http://www.ycquartz.com　


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